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Anlagen zur Halbleiterfertigung in einem Reinraum

Scharnierlösungen für Halbleiterausrüstung

Vergleichen Sie die HSP-Scharnierführungen für Gerätetüren, Wartungsklappen, abnehmbare Abdeckungen und positionsgesteuerte Deckel.

Prüfen Sie zunächst, wie die Geräte gewartet werden, und überprüfen Sie anschließend das Verhalten der Schalttafeln, den Einbauraum, den Freiraum zum Öffnen oder Ausbau sowie die bewegliche Last, bevor Sie Produkte miteinander vergleichen.

Wo wird das Scharnier an der Ausrüstung eingesetzt?

Beginnen Sie mit der Wartungszugangsstelle und nicht mit der Scharnierart.

Halbleiterausrüstung mit Wartungsklappen
Hinweise zum Zugang zu Halbleiteranlagen. Die endgültige Auswahl des Scharniers hängt von der jeweiligen Tür, der Verkleidung und der Befestigungsschnittstelle ab.

Zugangsklappe auf der Wartungsseite

Eine Wartungstür benötigt neben dem Türrahmen und den angrenzenden Einbauten ausreichend Schwenkfreiraum. Überprüfen Sie den Innenraum für die Montage, die Ausrichtung auf der Schließseite und die an der Tür angebrachten Beschläge. Ist kein verdeckter Montageplatz vorhanden, kann eine feste Scharnierführung in Betracht gezogen werden.

Startpunkt der Route: Verborgen

Hintere Wartungsklappe

Die Tür passt zwar von den Abmessungen her, behindert aber möglicherweise dennoch den Zugang für den Techniker. Prüfen Sie, ob sich die Tür ohne Probleme an benachbarte Module, Kabel, Leitungen und Wartungskomponenten anschwenken lässt. Ist kein verdeckter Einbauraum vorhanden, kann eine feste Scharnierführung in Betracht gezogen werden.

Startpunkt der Route: Verborgen

Abnehmbare Serviceblende

Prüfen Sie zunächst, ob die Verkleidung montiert bleiben muss. Falls eine vollständige Demontage erforderlich ist, ermitteln Sie das Gewicht der Verkleidung, die Hubrichtung, den Hubfreiraum, den Arbeitsraum und die Position für den Wiedereinbau.

Startpunkt der Route: Start

Positionsgesteuerte Abdeckung / Deckel

Ein kleiner Deckel wird nur dann in den Drehmomentvergleich einbezogen, wenn er in einer bestimmten Betriebsposition verbleiben muss. Überprüfen Sie das tatsächliche Bewegungsmoment und den Öffnungsbereich.

Startpunkt der Route: Drehmoment / Einstellbares Drehmoment

Feststehend, herausnehmbar oder positionsgesteuert?

Feststehende Tür

  • Bleibt während des Betriebs befestigt
  • Eine wiederholbare Ausrichtung ist wichtig
  • Der Absender des Umschlags muss bekannt sein

Abnehmbare Blende

  • Die Verkleidung muss vollständig entfernt werden
  • Die Entnahme-Richtung muss festgelegt werden
  • Techniker benötigen Arbeitsraum

Positionsgesteuerter Deckel

  • Die Platte muss an der Stelle bleiben, an der sie angebracht wurde
  • Die Haltekraft hängt von der Geometrie ab
  • Das Drehmoment muss dem bewegenden Moment entsprechen

Die Wartungsaufgabe der Scharnierroute zuordnen

Anforderung

Die Tür bleibt befestigt

Zuerst prüfen

Interner Einbauraum und Öffnungsbereich

Start der ScharnierführungVerborgen
Anforderung

Blende wurde während der Wartung entfernt

Zuerst prüfen

Transportweg, Handhabung und Wiedereinbau

Start der ScharnierführungStart
Anforderung

Der Deckel muss an der Stelle bleiben, an der er abgelegt wurde

Zuerst prüfen

Bewegungsmoment und erforderliches Haltemoment

Start der ScharnierführungDrehmoment
Anforderung

Größere Zugangsklappe

Zuerst prüfen

Gesamte bewegliche Last und Rahmensteifigkeit

Start der ScharnierführungIndustriell

Verwenden Sie die Ausführung „Heavy-Duty“ nur, wenn das Türgewicht oder die zu bewegende Last dies erfordern.

HSP-Scharnierfräsbahnen für Halbleiterausrüstung

Verwenden Sie die unten aufgeführten Produkte als Ausgangsgrundlage für Zeichnungen, die Montage und den Passungsvergleich. Die endgültige Auswahl hängt von der tatsächlichen Schnittstelle der Anlage ab.

90°- und 180°-Verdecktscharnier HG02-012
Verdeckte Scharniere

90°- und 180°-Verdecktscharnier

Modell HG02-012

Für feststehende Wartungstüren, bei denen der Scharnierbereich innerhalb der Gerätekonstruktion verbleiben muss.

  • Öffnungswinkel
  • Innenumschlag
  • Schnittstelle zwischen Blende und Rahmen
Produkt anzeigen
Kompaktes Abhebescharnier HG02-025-3
Abnehmbare Scharniere

Kompaktes Lift-Off-Scharnier

Modell HG02-025-3

Für Wartungsklappen, die nach dem Öffnen vollständig entfernt werden müssen.

  • Gewicht der Platte
  • Lift-Durchfahrtshöhe
  • Entfernungsrichtung
Produkt anzeigen
Produktfoto der Scharnierfamilie mit einstellbarem Drehmoment
Torque Scharniere

Einstellbare Scharniere mit Drehmoment

Wählen Sie ein Modell aus, nachdem die Haltepflicht festgelegt wurde.

Für Deckel oder Revisionsklappen, die in einer bestimmten Betriebsstellung verbleiben müssen.

  • Ein bewegender Moment
  • Erforderliches Halte-Drehmoment
  • Eröffnungsspanne
Produktfamilie anzeigen

Überprüfen Sie die Schnittstelle des Geräts, bevor Sie das Scharnier auswählen

Ein Scharnier passt zwar an sich an die Tür, kann aber dennoch die Geräte, den Wartungsraum oder benachbarte Beschläge behindern.

Halbleiterausrüstungslinie mit angrenzendem Servicezugangsbereich

Komplette Bewegungsbaugruppe

Zählen Sie die Blende zusammen mit dem Griff, der Verriegelung, der Sensorhalterung, dem Display, dem Filter und den übrigen daran befestigten Bauteilen mit.

Service-Umschlag

Überprüfen Sie, ob die Tür beim Schwingen gegen benachbarte Module, in der Nähe befindliche Geräte und den Arbeitsbereich des Technikers stößt.

Interner Einbauraum

Überprüfen Sie die Rahmenrückseite und die Scharniertasche auf Kabel, Schläuche, Sensoren, Verriegelungen und interne Bauteile.

Entfernungsweg

Kann sich die Verkleidung für den Zugang zum Startbereich weit genug verschieben, um das Scharnier zu lösen, nachdem die Ausrüstung installiert wurde?

Anforderungen an die Stelle

Für den Drehmomentzugang, die Masse der Schalttafel, den Schwerpunkt, die Scharnierachse, den Öffnungsbereich und das erforderliche Halteverhalten.

Befindet sich das Scharnier in der Nähe einer kontrollierten Reinheitsgrenze?

Auf dieser Seite werden das Zugangsverhalten der Geräte und bestehende Scharnierrouten verglichen; sie dient nicht dazu, ein Scharnier hinsichtlich der Anforderungen für Reinräume, Partikel, Schmierstoffe, Vakuum, Chemikalien oder Ausgasung zu qualifizieren. Befindet sich ein Zugangspunkt in der Nähe einer kontrollierten Reinheitsgrenze, prüfen Sie bitte So wählen Sie ein Reinraumscharnier für Halbleiteranlagen aus vor der endgültigen Genehmigung. Halten Sie diese Einschränkung getrennt von dem anfänglichen Vergleich von Tür, Verkleidung und Befestigung.

Einkaufsvorbereitungen vor der Angebotsanfrage

Senden Sie bitte die derzeit bekannten Angaben. Fehlende Maße können im Rahmen der Nachverfolgung anhand der Ausrüstungszeichnung bestätigt werden.

EingabeWarum HSP es braucht
Ausstattung / ZugangsortPositioniert das Scharnier an der richtigen Serviceöffnung.
Tür- oder PaneelgrößeLegt die Türkontur und den Abstand der Scharniere fest.
Gesamtgewicht beim TransportBeinhaltet die an der beweglichen Baugruppe montierten Bauteile.
Feststehend / Abnehmbar / PositionsgesteuertGibt die Familie der Startscharniere an.
Erforderlicher ÖffnungswinkelÜberprüft die Serviceposition und den Freiraum in der Umgebung.
Verfügbarer EinbauraumÜberprüft die Rückführung des Rahmens und interne Störungen.
Befestigungsart / Schnittstelle zur SchalttafelHilft dabei, festzustellen, wie das Scharnier an der Tür, der Verkleidung und dem Rahmen befestigt werden kann.
Zeichnung oder Foto, falls vorhandenHilft bei der Überprüfung des Ein- und Ausbaus; für den Erstkontakt nicht erforderlich.
Geschätzte MengeUnterstützt die Angebots- und Auftragsabwicklung.

Bestellinformationen

Die Geschäftsbedingungen für das ausgewählte Produkt und die angegebene Menge sind im Angebot bestätigt.

Preise
Das Angebot bezieht sich auf das Modell, die Konfiguration und die Menge.
Mindestbestellmenge
Für das ausgewählte Standard- oder modifizierte Teil bestätigt.
Beispiele
Verfügbarkeit und Konditionen werden im Angebot bestätigt.
Lieferzeit
Anhand der Lager- oder Produktionsbedingungen bestätigt.
Qualitätsprüfung
Die entsprechenden Zeichnungs- und Prüfvorgaben werden vor der Bestellung vereinbart.
Garantie- und Bestellbedingungen
In den Angebots- und Bestellbedingungen festgelegt.
Maßprüfung des HSP-Scharniers
HSP 2D – Optische Maßprüfung.

Produktprüfung und Maßprüfung

Vor der Produktionsfreigabe werden repräsentative Produktabmessungen und Befestigungsdetails anhand der kontrollierten Zeichnung überprüft.

Informationen zum Prüfverfahren finden Sie unter Qualität und Prüfung.

Informationen zur Überprüfung der Zeichnungen und der Montage finden Sie unter Technik und Forschung und Entwicklung.

Angebot anfordern

Die vorliegenden Informationen reichen für eine erste Prüfung aus. Eine vollständige Zeichnung ist in dieser Phase nicht erforderlich.

Zu den nützlichen Informationen gehören:

  • Gerätetyp und Standort
  • Tür- oder Paneelgröße
  • Zu bewegendes Gewicht, sofern bekannt
  • Feststehendes, abnehmbares oder positionsgesteuertes Verhalten
  • Voraussetzung für die Eröffnung
  • Geschätzte Menge

Sollten Zeichnungen oder Fotos der Ausrüstung vorliegen, geben Sie dies bitte in den Projektdetails an. Unser Team kann die Dateien im Rahmen der weiteren Bearbeitung anfordern.

Angebot anfordern

Teilen Sie die derzeit verfügbaren Serviceaufgaben und Informationen mit.

Anfrage zu Scharnieren für Halbleiterausrüstung

Wie geht es weiter?

Produktbewertung

Vergleichen Sie die Zugangsanforderungen und die Einbaumaße mit denen bestehender Scharnierfamilien.

Zitat

Bitte bestätigen Sie Modell, Konfiguration, Menge und Geschäftsbedingungen.

Muster anfordern oder bestellen

Vereinbaren Sie die Zeichnung und das Muster oder den Bestellweg für das ausgewählte Produkt.