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クリーンルーム内の半導体製造装置ライン

半導体製造装置向けヒンジソリューション

機器のアクセスドア、メンテナンスパネル、取り外し可能なカバー、および位置制御式蓋向けのHSPヒンジの取り付け経路を比較してください。.

製品を比較する前に、まず機器のメンテナンス方法を確認し、次にパネルの動作状況、設置スペース、開閉や取り外しのためのクリアランス、および可動荷重を確認してください。.

この機器のどこにヒンジが使われているのでしょうか?

ヒンジのタイプではなく、メンテナンス用アクセスポイントから始めましょう。.

保守用アクセスパネルを備えた半導体製造装置
半導体製造装置のアクセスに関する参考情報。ヒンジの最終的な選定は、実際のドア、パネル、および取り付けインターフェースによって異なります。.

サービス側アクセスドア

メンテナンス用ドアを設置する際は、枠の折り返し部分や周辺の設備の横に、十分な開閉スペースを確保する必要があります。内部の取り付けスペース、ラッチ側の位置合わせ、およびドアに取り付けられる金具を確認してください。隠し取り付けスペースが確保できない場合は、固定ヒンジの採用を検討してもよいでしょう。.

出発地点: 隠された

後部点検用ドア

ドアは物理的には収まるものの、技術者が手を伸ばせない場合があります。隣接するモジュール、ケーブル、配管、および保守用ハードウェアとの干渉がないか、ドアの開閉動作を確認してください。隠蔽設置スペースが確保できない場合は、固定ヒンジの採用を検討してください。.

出発地点: 隠された

取り外し可能なサービスパネル

まず、パネルを取り付けたままにしておく必要があるかどうかを確認してください。完全に取り外す必要がある場合は、パネルの重量、持ち上げ方向、持ち上げのためのクリアランス、取り扱いスペース、および再取り付け位置を特定してください。.

出発地点: リフトオフ

位置制御式カバー/蓋

小型の蓋は、所定の作動位置に保持する必要がある場合にのみ、トルク比較の対象となります。実際の可動モーメントと開度範囲を確認してください。.

出発地点: トルク/調整可能なトルク

固定式、取り外し式、それとも位置制御式?

固定ドア

  • 作業中も取り付けたままの状態を保つ
  • 再現性のある位置合わせが重要である
  • 封筒を開封した人物が判明している必要がある

取り外し可能なパネル

  • パネルを完全に取り外す必要があります
  • 削除の方向を定義する必要があります
  • 技術者には作業スペースが必要です

位置制御式蓋

  • パネルは設置した場所に固定しておく必要があります
  • 保持力は形状によって異なる
  • トルクは、作用するモーメントと一致していなければならない

サービスタスクをヒンジルートに割り当てる

要件

ドアは取り付けたまま

まず確認してください

内部取り付けスペースおよび開口形状

ヒンジ経路の開始点隠された
要件

整備中にパネルを取り外しました

まず確認してください

リフトの経路、取り扱い、および再設置

ヒンジ経路の開始点リフトオフ
要件

蓋は置いた場所にそのまま置いておいてください

まず確認してください

駆動モーメントおよび必要な保持トルク

ヒンジ経路の開始点トルク
要件

より大きな常時開放型アクセスドア

まず確認してください

移動荷重およびフレームの剛性の全項目

ヒンジ経路の開始点インダストリアル

ドアの重量や搬送荷重の都合上、必要となる場合にのみ、ヘビーデューティー仕様を使用してください。.

半導体製造装置向けHSPヒンジルートの加工

以下の製品を、図面作成、取り付け、および適合性の比較における初期の参考資料としてご利用ください。最終的な選定は、実際の機器のインターフェースによって決まります。.

90°および180°隠しヒンジ HG02-012
隠しヒンジ

90°および180°の隠しヒンジ

型番 HG02-012

ヒンジの突出範囲を機器の構造体内に収める必要がある、リテイン式サービスドア用。.

  • 開口角
  • 内封筒
  • パネル/フレームのインターフェース
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コンパクトリフトオフヒンジ HG02-025-3
リフトオフヒンジ

コンパクトリフトオフヒンジ

型番 HG02-025-3

開けた後に完全に取り外す必要があるメンテナンスパネルについて。.

  • パネルの重量
  • リフトのクリアランス
  • 取り外し手順
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トルク調整可能なヒンジシリーズの製品写真
トルクヒンジ

トルク調整可能ヒンジ

保有要件を定義した後、モデルを選択してください。.

特定のサービス位置に固定しておく必要がある蓋や点検口の場合。.

  • 感動的な瞬間
  • 必要な保持トルク
  • 始値の範囲
製品ファミリーを見る

ヒンジを選ぶ前に、機器のインターフェースを確認してください

ヒンジはドア自体には取り付けられるものの、機器やメンテナンススペース、あるいは周辺の金具と干渉してしまう場合があります。.

サービス用アクセススペースが隣接する半導体製造装置ライン

引越し用一式セット

パネルに加え、ハンドル、ラッチ、センサーブラケット、ディスプレイ、フィルター、およびパネルに取り付けられているその他の金具も合わせて数えてください。.

サービス封筒

ドアの開閉時に、隣接するモジュール、付近の機器、および技術者の作業スペースとの干渉がないか確認してください。.

内部取り付け用エンベロープ

フレームのリターン部およびヒンジポケットに、ケーブル、チューブ、センサー、ラッチ、および内部の金具が干渉していないか確認してください。.

削除パス

打ち上げ時のアクセスに関して、機器の設置後、パネルはヒンジから外れるほど十分に動くでしょうか?

応募資格

トルク伝達、供給パネルの質量、重心、ヒンジ軸、開口範囲、および必要な保持特性について。.

ヒンジは、管理された清浄度の境界付近にあるのでしょうか?

このページでは、機器へのアクセス方法と既存のヒンジ経路を比較しています。なお、このページは、クリーンルーム、粒子、潤滑剤、真空、化学物質、またはアウトガスに関する要件について、ヒンジの適合性を評価するものではありません。アクセスポイントが管理された清浄度境界の近くにある場合は、以下を確認してください。 半導体製造装置用のクリーンルーム用ヒンジの選び方 最終承認の前。その条件については、ドア、パネル、および取り付け方法に関する初期の比較とは区別しておいてください。.

RFQ提出前の調達に関する情報

現時点で判明している情報を送ってください。不足している寸法については、追って機器の図面と照らし合わせて確認することができます。.

入力HSPにとってなぜそれが必要なのか
設備/アクセス場所ヒンジを正しいサービス開口部に設置します。.
ドアまたはパネルのサイズドアの外形寸法とヒンジの間隔を決定します。.
総移動重量可動アセンブリに取り付けられたハードウェアが含まれます。.
固定式/取り外し可能/位置制御式開始ヒンジファミリーを特定します。.
必要な開口角度サービスの位置と周辺のクリアランスを確認します。.
利用可能な取り付けスペースフレームの戻りと内部干渉をチェックします。.
取り付け方法/パネルインターフェースヒンジをドア、パネル、枠にどのように取り付けることができるかを確認するのに役立ちます。.
図面または写真(ある場合)取り付けおよび取り外しの確認に役立ちます。初回接触時には必要ありません。.
見込み数量見積もりや注文に関する協議をサポートします。.

ご注文に関する情報

見積書に記載された製品および数量について、取引条件が確定しました。.

価格
モデル、構成、数量について見積もりを依頼しました。.
最小発注数量(MOQ)
選択した標準部品または修正部品について確認済みです。.
サンプル
空き状況および条件については、お見積り書にて確認済みです。.
リードタイム
在庫状況または生産状況と照合済み。.
品質検査
注文前に、関連する図面および検査要件について合意しておくこと。.
保証および注文条件
見積書および注文条件に定められています。.
HSPヒンジの寸法検査
HSP 2D光学式寸法検査。.

製品検査および寸法確認

代表的な製品の寸法および取り付けの詳細は、生産開始の承認前に管理図面と照合して確認されます。.

検査の手順については、以下を参照してください。 品質と試験.

図面および据付の確認については、以下を参照してください。 エンジニアリング・研究開発.

お見積りのお申し込み

現時点で入手可能な情報で、最初の審査には十分です。現段階では、完全な図面は必要ありません。.

役立つ情報としては、次のようなものがあります:

  • 機器の種類と設置場所
  • ドアまたはパネルのサイズ
  • 重量(判明している場合)
  • 固定型、取り外し可能型、または位置制御型の挙動
  • 開設要件
  • 見込み数量

図面や機器の写真などがある場合は、「プロジェクトの詳細」欄に記載してください。当社のチームが、その後の連絡の際にそれらのファイルの提供をお願いすることがあります。.

お見積りのお申し込み

現在利用可能なサービスタスクや情報を共有しましょう。.

半導体製造装置用ヒンジのご依頼

これからどうなるのか

製品レビュー

アクセスタスクと取り付けスペースについて、既存のヒンジ製品群と比較してください。.

引用

機種、仕様、数量、および取引条件を確認してください。.

サンプルまたはご注文

選択した製品の図面およびサンプル、あるいは発注手順について合意する。.